【29秒。】
【28秒。】
两名特卫拖着老顾问就往外拽。
老顾问还在狂笑，鞋底蹭着地面，发出刺耳的摩擦声。
“没用！”
“你们赢不了！”
“那道光根本聚不住！”
陆川一步横出，挡在主控台侧后方。
黑沉沉的枪口微垂。
目光却冷得像刀。
程美丽没看他，也没看那条被拖远的疯狗。
她直接走上主控台。
金属踏板被高跟鞋踩出两声脆响。
啪！
她一把掀开主控台防尘罩，双手按住启动面板。
“光源，全开。”
【27秒。】
轰——！
极紫外光源的高压放电发生器猛地咆哮。
巨大的电流冲入等离子激发舱。
刺眼的蓝白色强光在舱内猛地炸开。
防爆玻璃外，所有人的脸都被那一瞬的强光照得发白。
嗡嗡嗡！
光刻机内部的冷却泵、高压电源、镜头组同步启动，整台钢铁巨兽像是被点醒了。
“起光了！”
一名技术员失声喊了出来。
大屏幕上，主光路追踪图瞬间亮起。
第一束极紫外强光穿过激发舱，狠狠撞向第一面非球面反射镜。
下一秒。
红色警示框猛地弹出。
滴滴滴滴！
“偏了！”
光路监测员脸色煞白，死死抓着操作台边缘。
“主光束在二号反射面出现横向偏折！”
“焦点锁定失败！”
大屏幕上，那道本该笔直前冲的高能光束，在镜组中段出现了一个细微、却足以致命的弧度。
肉眼几乎看不见。
但在放大的光路图里，像一根骨头生生错了位。
“补偿算法呢！”
李副部长扯着嗓子吼，声音都劈了。
一名老专家站在副控台前，手指疯狂敲击键盘，冷汗顺着下巴往下淌。
“算不过来！”
“国内现有算法模型吃不下这种纳米级偏折！”
“算力不够，锁不住焦点！”
“继续算下去，光源先废！”
周围几名工程师的脸彻底白了。
千辛万苦走到点火这一步。
结果还是被卡死在最后一口气上。
顾不上旁人的反应，程美丽抬手按住主控台边缘，眼神冷得吓人。
“废物。”
她吐出两个字。
然后从白大褂口袋里，摸出一只银灰色的金属U盘。
这东西不大。
边角却泛着一种不属于这个时代的冷硬光泽。
“你们算不动。”
“我来。”
啪！
U盘被她狠狠插进主控机接口。
【叮！】
【跨时代光学微调算法已接入。】
【平台微调开关，已同步解锁。】
主控屏幕黑了一瞬。
下一秒。
无数复杂到令人头皮发麻的矩阵，像雪崩一样铺满整个电子大屏。
一行。
十行。
百行！
绿色字符疯狂滚动，速度快到所有人眼球发酸。
“这是什么算法……”
一名院士级专家下意识往前走了半步，眼神都直了。
没人回答他。
因为下一秒。
大屏幕上的偏折角修正值开始疯狂回落。
0.017。
0.011。
0.006！
原本那道出现弧度的极紫外光束，在镜组画面中，像是被一只无形的大手硬生生掰直了。
“回来了！”
光路监测员猛地扑到屏幕前，声音都破了。
“主光束重回中轴线！”
“二号镜、三号镜反射面全部归正！”
“焦点开始锁定！”
程美丽站在主控台前，十指压上工业键盘。
哒哒哒！
她没有停。
U盘算法在跑。
她自己的手也在跑。
一串又一串的微调指令，被她直接灌进镜组平台底层。
“一号镜，左偏补偿0.003。”
“三号镜，抬高。”
“五号镜，锁死。”
“看掩膜版。”
她声音不大。
却像一把冰冷的锤子，砸进每个人耳朵里。
操作员猛地回神，扑向副屏。
画面切换。
那道被强行归正的极紫外光束，穿透复杂到令人窒息的镜头群，最终精准轰击在掩膜版之上。
嗤！
一声极轻的灼响。
光，咬住了。
“聚焦成功！”
“主焦点锁定成功！”
会场里先是一静。
紧接着。
轰！
整个主控区像炸了一样。
“成了！”
“真的聚住了！”
“曝光！快上曝光程序！”
程美丽一掌拍下执行键。
啪！
晶圆工件台开始高速平移。
涂满极紫外光刻胶的八英寸晶圆，在真空吸附台上稳稳前送。
那束杀穿所有封锁的极紫外光，透过掩膜版，在晶圆表面留下一道又一道肉眼不可见的微观刻痕。
全场没人再说话。
只剩设备运转的低沉轰鸣。
还有众人压得发疼的呼吸。
三分钟后。
滴！
曝光结束。
晶圆被机械抓手缓缓送出，推入显影清洗区。
化学显影液如细雨般淋下。
冲洗。
定型。
白色水雾弥散在玻璃罩内，遮得人眼前发白。
“出来了。”
程美丽开口。
机械抓手应声探出，将首片曝光后的晶圆平稳夹起，送向最高精度电子显微镜平台。
李副部长站在显微镜前，手都不知道该往哪放。
一名院士死死抓着自己的老花镜，指节泛白。
程美丽走过去，亲手转动焦距旋钮。
咔。
目镜锁定。
她低头看了一眼。
没说话。
直接抬手把显微镜画面投上了主屏。
嗡！
巨幕亮起。
一片安静得近乎完美的微观世界，瞬间铺满全场视野。
晶格。
线路。
一道道细密到让人头皮发麻的电路纹路，整整齐齐排布在硅片之上。
每一条边缘都锋利。
每一个拐角都干净。
没有塌陷。
没有毛刺。
没有任何因为失焦带来的烧灼和畸变。
主屏右上角，自动检测数值缓缓跳出。
0.5微米。
李副部长盯着那串数字，整个人像是被雷劈中了。
“零点……五……”
他张了张嘴，声音却卡在嗓子里。
下一秒。
他猛地抬起手，死死捂住自己的脸。
肩膀剧烈发抖。
“成了……”
“成了啊！”
这声吼出来的时候，整个车间彻底炸了。
欢呼声。
拍桌声。
金属栏杆被砸得咣咣作响。
两名头发花白的院士当场红了眼，摘下眼镜抹脸，动作都在抖。
其余人的反应彻底失控，几个人抱在一起，几个人高高举起图纸，像疯了一样吼。
但这些声音，都被程美丽扔在了身后。
她站在大屏前，盯着那片0.5微米的完美晶格，眼神却没有松下来。
因为她看见了。
在主屏最下方，一块被自动放大的微观区域里。
某一道细密电路的边缘，正浮起一小片不正常的暗红色热斑。
不大。
只有针尖那么一点。
却像一根细针，刺进了她的眼底。
她没有出声。
只是抬起手，用指尖轻轻敲了两下冰冷的显微镜外壳。
笃。
笃。
主屏右下角的工艺流程时间提示，还在冷冰冰地跳。
距离芯片蚀刻工序开始。
还剩2小时。
【28秒。】
两名特卫拖着老顾问就往外拽。
老顾问还在狂笑，鞋底蹭着地面，发出刺耳的摩擦声。
“没用！”
“你们赢不了！”
“那道光根本聚不住！”
陆川一步横出，挡在主控台侧后方。
黑沉沉的枪口微垂。
目光却冷得像刀。
程美丽没看他，也没看那条被拖远的疯狗。
她直接走上主控台。
金属踏板被高跟鞋踩出两声脆响。
啪！
她一把掀开主控台防尘罩，双手按住启动面板。
“光源，全开。”
【27秒。】
轰——！
极紫外光源的高压放电发生器猛地咆哮。
巨大的电流冲入等离子激发舱。
刺眼的蓝白色强光在舱内猛地炸开。
防爆玻璃外，所有人的脸都被那一瞬的强光照得发白。
嗡嗡嗡！
光刻机内部的冷却泵、高压电源、镜头组同步启动，整台钢铁巨兽像是被点醒了。
“起光了！”
一名技术员失声喊了出来。
大屏幕上，主光路追踪图瞬间亮起。
第一束极紫外强光穿过激发舱，狠狠撞向第一面非球面反射镜。
下一秒。
红色警示框猛地弹出。
滴滴滴滴！
“偏了！”
光路监测员脸色煞白，死死抓着操作台边缘。
“主光束在二号反射面出现横向偏折！”
“焦点锁定失败！”
大屏幕上，那道本该笔直前冲的高能光束，在镜组中段出现了一个细微、却足以致命的弧度。
肉眼几乎看不见。
但在放大的光路图里，像一根骨头生生错了位。
“补偿算法呢！”
李副部长扯着嗓子吼，声音都劈了。
一名老专家站在副控台前，手指疯狂敲击键盘，冷汗顺着下巴往下淌。
“算不过来！”
“国内现有算法模型吃不下这种纳米级偏折！”
“算力不够，锁不住焦点！”
“继续算下去，光源先废！”
周围几名工程师的脸彻底白了。
千辛万苦走到点火这一步。
结果还是被卡死在最后一口气上。
顾不上旁人的反应，程美丽抬手按住主控台边缘，眼神冷得吓人。
“废物。”
她吐出两个字。
然后从白大褂口袋里，摸出一只银灰色的金属U盘。
这东西不大。
边角却泛着一种不属于这个时代的冷硬光泽。
“你们算不动。”
“我来。”
啪！
U盘被她狠狠插进主控机接口。
【叮！】
【跨时代光学微调算法已接入。】
【平台微调开关，已同步解锁。】
主控屏幕黑了一瞬。
下一秒。
无数复杂到令人头皮发麻的矩阵，像雪崩一样铺满整个电子大屏。
一行。
十行。
百行！
绿色字符疯狂滚动，速度快到所有人眼球发酸。
“这是什么算法……”
一名院士级专家下意识往前走了半步，眼神都直了。
没人回答他。
因为下一秒。
大屏幕上的偏折角修正值开始疯狂回落。
0.017。
0.011。
0.006！
原本那道出现弧度的极紫外光束，在镜组画面中，像是被一只无形的大手硬生生掰直了。
“回来了！”
光路监测员猛地扑到屏幕前，声音都破了。
“主光束重回中轴线！”
“二号镜、三号镜反射面全部归正！”
“焦点开始锁定！”
程美丽站在主控台前，十指压上工业键盘。
哒哒哒！
她没有停。
U盘算法在跑。
她自己的手也在跑。
一串又一串的微调指令，被她直接灌进镜组平台底层。
“一号镜，左偏补偿0.003。”
“三号镜，抬高。”
“五号镜，锁死。”
“看掩膜版。”
她声音不大。
却像一把冰冷的锤子，砸进每个人耳朵里。
操作员猛地回神，扑向副屏。
画面切换。
那道被强行归正的极紫外光束，穿透复杂到令人窒息的镜头群，最终精准轰击在掩膜版之上。
嗤！
一声极轻的灼响。
光，咬住了。
“聚焦成功！”
“主焦点锁定成功！”
会场里先是一静。
紧接着。
轰！
整个主控区像炸了一样。
“成了！”
“真的聚住了！”
“曝光！快上曝光程序！”
程美丽一掌拍下执行键。
啪！
晶圆工件台开始高速平移。
涂满极紫外光刻胶的八英寸晶圆，在真空吸附台上稳稳前送。
那束杀穿所有封锁的极紫外光，透过掩膜版，在晶圆表面留下一道又一道肉眼不可见的微观刻痕。
全场没人再说话。
只剩设备运转的低沉轰鸣。
还有众人压得发疼的呼吸。
三分钟后。
滴！
曝光结束。
晶圆被机械抓手缓缓送出，推入显影清洗区。
化学显影液如细雨般淋下。
冲洗。
定型。
白色水雾弥散在玻璃罩内，遮得人眼前发白。
“出来了。”
程美丽开口。
机械抓手应声探出，将首片曝光后的晶圆平稳夹起，送向最高精度电子显微镜平台。
李副部长站在显微镜前，手都不知道该往哪放。
一名院士死死抓着自己的老花镜，指节泛白。
程美丽走过去，亲手转动焦距旋钮。
咔。
目镜锁定。
她低头看了一眼。
没说话。
直接抬手把显微镜画面投上了主屏。
嗡！
巨幕亮起。
一片安静得近乎完美的微观世界，瞬间铺满全场视野。
晶格。
线路。
一道道细密到让人头皮发麻的电路纹路，整整齐齐排布在硅片之上。
每一条边缘都锋利。
每一个拐角都干净。
没有塌陷。
没有毛刺。
没有任何因为失焦带来的烧灼和畸变。
主屏右上角，自动检测数值缓缓跳出。
0.5微米。
李副部长盯着那串数字，整个人像是被雷劈中了。
“零点……五……”
他张了张嘴，声音却卡在嗓子里。
下一秒。
他猛地抬起手，死死捂住自己的脸。
肩膀剧烈发抖。
“成了……”
“成了啊！”
这声吼出来的时候，整个车间彻底炸了。
欢呼声。
拍桌声。
金属栏杆被砸得咣咣作响。
两名头发花白的院士当场红了眼，摘下眼镜抹脸，动作都在抖。
其余人的反应彻底失控，几个人抱在一起，几个人高高举起图纸，像疯了一样吼。
但这些声音，都被程美丽扔在了身后。
她站在大屏前，盯着那片0.5微米的完美晶格，眼神却没有松下来。
因为她看见了。
在主屏最下方，一块被自动放大的微观区域里。
某一道细密电路的边缘，正浮起一小片不正常的暗红色热斑。
不大。
只有针尖那么一点。
却像一根细针，刺进了她的眼底。
她没有出声。
只是抬起手，用指尖轻轻敲了两下冰冷的显微镜外壳。
笃。
笃。
主屏右下角的工艺流程时间提示，还在冷冰冰地跳。
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